“TGNTR原厂原装现货 全国直供热卖”参数说明
封装: |
SMD |
功能结构: |
数/模混合集成电路 |
制作工艺: |
半导体集成电路 |
导电类型: |
双极型 |
外形: |
双列直插型 |
集成度高低: |
大规模集成电路 |
应用领域: |
标准通用 |
型号: |
TGNTR |
规格: |
04+ |
商标: |
HALO |
包装: |
3000/包 |
“TGNTR原厂原装现货 全国直供热卖”详细介绍
随着MOS器件特征尺寸缩小至纳米尺度,短沟道效应
(SCE)、漏致感应势垒降低(DIBL)效应[1]等小尺寸效应
对器件性能的影响愈来愈突出。为了有效抑制短沟道效
应,对沟道区进行横向非均匀掺杂 的Halo注入[2-3]在纳
米尺度MOS器件制作中广泛 应用。图1是采用Halo注入的
NMOS器件结构示意图,Halo注入使沟道区离子浓度在横向
上呈现两端高中间低的分布,靠近源漏处的高掺杂可以有
效抑制源漏耗尽区向沟道内的扩展,减少电荷共享,防止
源漏穿通,从而抑制短沟道效应及DIBL效应[4-8];而在远
离源漏结的沟道处,离子掺杂浓度较低,可以保持较高的
载流子迁移率。